半导体产业是国民经济基础性支柱产业,因此在半导体生产过程中,集成电路集成度高,元器件对生产车间的无尘、湿度、静电等指标要求特别严。特别是由于微粒灰尘污染、静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的三大问题。在所有的半导体生产领域,由于静电的负面效应,使得保持高水准的产品质量和成品率变得更加困难。缺少静电控制,将导致微粒污染,静电放电损坏和设备故障。要防止静电的产生,关键的就是要通过安装工业加湿器控制湿度和灰尘产生。
一般电子车间空气湿度在40-60%RH之间,不会产生静电和灰尘,产品质量也会有保证。国内外半导体企业在控制静电上,比较行之有效的一个措施就是使用工业加湿器加湿除尘,防静电,而比较普遍的加湿器类型就是干雾加湿器。欧陆注册推出的干雾加湿器已经应用到了国内不少半导体生产企业。
欧陆注册干雾加湿器作为专业的电子车间加湿器,蒸发快、湿度控制效果好的特点,不管是除尘还是除静电、防静电,速度快、效果好。并且可以实现湿度自动感应控制,加湿范围广,水电利用率高,整体运行费用低。
目前,全球半导体产业的发展靠两大轮子推动,一是不断缩小芯片特征尺寸,二是不断扩大晶圆尺寸。不管哪个轮子推动,防止静电都将是影响半导体制造技术发展的关键。相信在工业加湿器等新产品、新技术的不断更新下,会更好解决半导体静电问题,进步一提高电子产品的产量和质量。
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